Dispersión asistida por magnetrón en películas de TIN /

Dispersión asistida por magnetrón en películas de TIN /

Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a...

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Ortega de la Rosa, Rubin (autor.)
Altri autori:	Franco M., Claudia (autor.), Valdés C., Eduardo (autor.), Anda Rodríguez, Guillermo de (autor.)
Natura:	Articolo
Lingua:	spagnolo
Pubblicazione:	Arica, Chile : Universidad de Tarapaca, 2005.
Soggetti:	Magnetrón. PVD. SEM. Sustratos. TiN. Libros electrónicos.
Accesso online:	https://elibro.unach.elogim.com/es/lc/unach/titulos/12258
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