Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica
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| Format: | Article |
| Language: | Spanish |
| Published: |
[Monterrey, N.L.] :
Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica,
2008.
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://elibro.unach.elogim.com/es/lc/unach/titulos/19576 |
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