Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
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| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Spanisch |
| Veröffentlicht: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | https://elibro.unach.elogim.com/es/lc/unach/titulos/94724 |
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| Veröffentlicht: | Vol. 1, num. 4 (2009)- |
|---|---|
| Beschreibung: | 13-18 p. |
| Erscheinungshäufigkeit: | Anual |
| ISSN: | 1909-4841 |