Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
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| Autor Corporativo: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | español |
| Publicado: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://elibro.unach.elogim.com/es/lc/unach/titulos/94724 |
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| Publicado: | Vol. 1, num. 4 (2009)- |
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| Descripción Física: | 13-18 p. |
| Frecuencia de Publicación: | Anual |
| ISSN: | 1909-4841 |