Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
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| Autor Corporativo: | |
|---|---|
| Outros Autores: | |
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | espanhol |
| Publicado em: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://elibro.unach.elogim.com/es/lc/unach/titulos/94724 |
| Tags: |
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