Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
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| Format: | Article |
| Language: | Spanish |
| Published: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://elibro.unach.elogim.com/es/lc/unach/titulos/94724 |
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