Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
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| Format: | Article |
| Langue: | espagnol |
| Publié: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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