Webinar. MEMS Vacuum Packaging - Sparks Douglas; Canal Mike Pinelis
El siguiente video es un seminario, el cual se centra en las tecnologa̕s de envasado al vaco̕ para una variedad de dispositivos MEMS. Estos incluyen metal tradicional y paquetes de cerm̀ica, as ̕como numerosas tčnicas de unin̤ de la oblea-a oblea. Se discuten MEMS de procesamiento de mťodos incluyendo la preparacin̤ de la oblea, el grabado, y la incorporacin̤ getter, as ̕como una serie de aplicaciones de MEMS que requieren el envasado al vaco̕.