Webinar. MEMS Vacuum Packaging

El siguiente video es un seminario, el cual se centra en las tecnologa̕s de envasado al vaco̕ para una variedad de dispositivos MEMS. Estos incluyen metal tradicional y paquetes de cerm̀ica, as ̕como numerosas tčnicas de unin̤ de la oblea-a oblea. Se discuten MEMS de procesamiento de mťodos inclu...

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Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Andere auteurs: Sparks Douglas, Canal Mike Pinelis
Formaat: Boek
Taal:Engels
Onderwerpen:
Online toegang:Webinar. MEMS Vacuum Packaging
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