Operando structural characterization of the E-ALD process ultra-thin films growth

Los primeros sistemas estudiados con operando SXRD han sido elegidos por su qum̕ica simple y porque ya se haba̕n caracterizado ampliamente con caracterizaciones electroqum̕icas y espectroscp̤icas estǹdar. Al realizar el operando SXRD, hemos sido capaces de abordar varias preguntas abiertas sobre el...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Інші автори: Giaccherini Andrea, Felici Roberto, Innocenti Massimo, InTech
Формат: Книга
Мова:Англійська
Предмети:
Онлайн доступ:Operando structural characterization of the E-ALD process ultra-thin films growth
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!