The corrosion resistance and microstructure of UBM system-deposited NbxSiyNz thin films - Velasco Estrada Leonardo; Olaya Florez Jhon Jairo; Rodrg̕uez Baracaldo Rodolfo; Universidad Nacional de Colombia. Facultad de Ingeniera̕
En este trabajo se produjeron recubrimientos nanoestructurados de NbxSiyNz sobre acero inoxidable AISI 304 mediante la tčnica del UBM (unbalanced magnetrn̤ - sputtering con magnetrn̤ desbalanceado), variando el contenido de Si, y se evalu ̤su resistencia frente al fenm̤eno corrosivo por medio de la tčnica de polarizacin̤ potenciodinm̀ica en una solucin̤ al 3% de NaCl. La microestructura de los recubrimientos se analiz ̤por medio de XRD (X ray diffraction - difraccin̤ de rayos X), SEM (scanning electron microscopy - microscopia electrn̤ica de barrido) y microscopia ls̀er confocal. La composicin̤ qum̕ica se identific ̤con la tčnica XRF (X ray fluorescence - fluorescencia de rayos X). Como resultado las tasas de deps̤ito se incrementaron con la adicin̤ de Si, adems̀ se observ ̤un cambio en la microestructura para contenidos superiores a 5% de Si, mediante la transicin̤ de un recubrimiento cristalino a amorfo. Finalmente, los resultados de corrosin̤ sugieren que los recubrimientos con un alto contenido de silicio tienen un mejor comportamiento frente a la corrosin̤ del sistema.