Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology
En esta investigacin̤ se ofrece una solucin̤ confiable para resolver el problema de no linealidad de un resonador CMOS-MEMS (semiconductor complementario de x̤ido metl̀ico-sistema microelectromecǹico) y, adems̀, se demuestra un potencial notable para construir un sensor de temperatura CMOS-MEMS par...
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|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
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| Online-Zugang: | Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology |
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| Zusammenfassung: | En esta investigacin̤ se ofrece una solucin̤ confiable para resolver el problema de no linealidad de un resonador CMOS-MEMS (semiconductor complementario de x̤ido metl̀ico-sistema microelectromecǹico) y, adems̀, se demuestra un potencial notable para construir un sensor de temperatura CMOS-MEMS para aplicaciones de deteccin̤ en infrarrojo. Mediante COMSOL y teora̕, se verific ̤la posibilidad de una mejora de 31 x en el cambio de la frecuencia absoluta total con respecto al cambio de la temperatura ambiente. |
|---|---|
| ISSN: | 2072-666X |