Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology

En esta investigacin̤ se ofrece una solucin̤ confiable para resolver el problema de no linealidad de un resonador CMOS-MEMS (semiconductor complementario de x̤ido metl̀ico-sistema microelectromecǹico) y, adems̀, se demuestra un potencial notable para construir un sensor de temperatura CMOS-MEMS par...

Volledige beschrijving

Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Andere auteurs: Gk̲ta&#351; Hasan, MDPI
Formaat: Boek
Taal:Engels
Onderwerpen:
Online toegang:Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology
Tags: Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!