Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology
En esta investigacin̤ se ofrece una solucin̤ confiable para resolver el problema de no linealidad de un resonador CMOS-MEMS (semiconductor complementario de x̤ido metl̀ico-sistema microelectromecǹico) y, adems̀, se demuestra un potencial notable para construir un sensor de temperatura CMOS-MEMS par...
Збережено в:
| Інші автори: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Англійська |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Будьте першим, хто залишить коментар!