Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...
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| Format: | Book |
| Language: | English |
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| Online Access: | Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
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| Summary: | Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracterizacin̤ de estos dispositivos para medicin̤ de temperatura, se propone un mťodo de correccin̤ de sensores y se demuestra que se puede lograr un error de medida tan bajo como ł 0,3 ʻC. |
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| ISBN: | 0353-3670 (versin̤ impresa); 2217-5997 (versin̤ electrn̤ica) |