Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...
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| Format: | Book |
| Language: | English |
| Subjects: | |
| Online Access: | Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
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MARC
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| 001 | vpro14490 | ||
| 005 | 20201223000000.0 | ||
| 008 | 190225s2019 ck # g## #001 0#eng#d | ||
| 020 | |a 0353-3670 (versin̤ impresa); 2217-5997 (versin̤ electrn̤ica) | ||
| 022 | |||
| 040 | |a CO-BoINGC | ||
| 041 | 0 | |a eng | |
| 245 | 1 | 0 | |a Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
| 246 | |a Desempeǫ de medicin̤ de temperatura de sensores de presin̤ MEMS piezorresistivos para aplicaciones industriales | ||
| 264 | |a Bogot ̀(Colombia) : |b Revista VirtualPRO, |c 2019 | ||
| 520 | 3 | |a Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracterizacin̤ de estos dispositivos para medicin̤ de temperatura, se propone un mťodo de correccin̤ de sensores y se demuestra que se puede lograr un error de medida tan bajo como ł 0,3 ʻC. | |
| 650 | \ | \ | |a Instrumentos de medicin̤ |
| 650 | \ | \ | |a Tecnologa̕ de la instrumentacin̤ |
| 650 | \ | \ | |a Measuring instruments |
| 650 | \ | \ | |a Instrumentation technology |
| 650 | \ | \ | |a Instrumentacin̤ industrial |
| 650 | \ | \ | |a Sensores |
| 650 | \ | \ | |a Sensores de presin̤ |
| 650 | \ | \ | |a Sensores MEMS |
| 650 | \ | \ | |a Sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio |
| 650 | \ | \ | |a Medicin̤ de temperatura |
| 650 | \ | \ | |a Correccin̤ de sensores |
| 650 | \ | \ | |a Industrial instrumentation |
| 650 | \ | \ | |a Sensors |
| 650 | \ | \ | |a Pressure sensors |
| 650 | \ | \ | |a MEMS sensor |
| 650 | \ | \ | |a Silicon microelectromechanical (MEMS) piezoresistive pressure sensors |
| 650 | \ | \ | |a Temperature measurement |
| 650 | \ | \ | |a Sensor correction |
| 700 | \ | \ | |a Frantlović Milo<U+009A> |
| 700 | \ | \ | |a Jokić Ivana |
| 700 | \ | \ | |a Lazić arko |
| 700 | \ | \ | |a Vukelić Branko |
| 700 | \ | \ | |a Obradov Marko |
| 700 | \ | \ | |a Vasiljević-Radović Dana |
| 700 | \ | \ | |a Stanković Srđan |
| 700 | \ | \ | |a University of Ni¿Ł |
| 856 | |z Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |u https://virtualpro.unach.elogim.com/biblioteca/desempeno-de-medicion-de-temperatura-de-sensores-de-presion-mems-piezorresistivos-para-aplicaciones-industriales | ||