Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications - Frantlović Milo<U+009A>; Jokić Ivana; Lazić ‌arko; Vukelić Branko; Obradov Marko; Vasiljević-Radović Dana; Stanković Srđan; University of Ni¿Ł
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracterizacin̤ de estos dispositivos para medicin̤ de temperatura, se propone un mťodo de correccin̤ de sensores y se demuestra que se puede lograr un error de medida tan bajo como ł 0,3 ʻC.