Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...
Uloženo v:
| Další autoři: | , , , , , , , |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | angličtina |
| Témata: | |
| On-line přístup: | Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|