Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications

Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...

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Muut tekijät: Frantlovi&#263; Milo<U+009A>, Joki&#263; Ivana, Lazi&#263; ‌arko, Vukeli&#263; Branko, Obradov Marko, Vasiljevi&#263;-Radovi&#263; Dana, Stankovi&#263; Sr&#273;an, University of Ni¿Ł
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:englanti
Aiheet:
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