Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...
שמור ב:
| מחברים אחרים: | , , , , , , , |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | אנגלית |
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|