Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications

Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...

Olles dieđut

Furkejuvvon:
Bibliográfalaš dieđut
Eará dahkkit: Frantlovi&#263; Milo<U+009A>, Joki&#263; Ivana, Lazi&#263; ‌arko, Vukeli&#263; Branko, Obradov Marko, Vasiljevi&#263;-Radovi&#263; Dana, Stankovi&#263; Sr&#273;an, University of Ni¿Ł
Materiálatiipa: Girji
Giella:eaŋgalasgiella
Fáttát:
Liŋkkat:Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Fáddágilkorat: Lasit fáddágilkoriid
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!