Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications

Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả khác: Frantlovi&#263; Milo<U+009A>, Joki&#263; Ivana, Lazi&#263; ‌arko, Vukeli&#263; Branko, Obradov Marko, Vasiljevi&#263;-Radovi&#263; Dana, Stankovi&#263; Sr&#273;an, University of Ni¿Ł
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:Tiếng Anh
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!