Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...
Saved in:
| 其他作者: | , , , , , , , |
|---|---|
| 格式: | 圖書 |
| 語言: | 英语 |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|