Analysis of Impact of Conic Aperture in Differentially Pumped Chamber - Hlavat ̀P; Maxa J; Vyroubal P; University of Defence<U+0009>
El artc̕ulo se centra en la simulacin̤ de la dinm̀ica del medio en el microscopio electrn̤ico de barrido ambiental. En particular, el documento examina el efecto de ubicacin̤ de la abertura cn̤ica en la cm̀ara de bombeo diferencial y el ancho del canal de bombeo en esta cm̀ara. La solucin̤ se basa en la teora̕ de Taylor-Maccoll sobre el impacto de la onda de choque y se obtuvo mediante el uso de mťodos de volumen continuo y finito en el sistema ANSYS Fluent.1. Introduccin̤El presente documento sigue el trabajo de Danilatos [1], que trata del problema del impacto de la forma de la cm̀ara de bombeo diferencial del microscopio electrn̤ico en el campo de presin̤ de la cm̀ara dada. La Fig. 1 muestra el eje idňtico de la cm̀ara con la trayectoria primaria del haz de electrones. El valor de la presin̤, alcanzado en el eje de la cm̀ara con bombeo diferencial, por el que pasa el haz electrn̤ico primario, es el primer criterio principal [2, 3]. El segundo criterio principal es la tasa de flujo de masa a travš de la abertura PLA 2 hacia el tubo [1, 4].En el microscopio (ESEM), la cm̀ara bombeada diferencialmente con la abertura PLA 1 (Fig. 2) separa el r̀ea de la cm̀ara de la muestra en la que se mantiene un alto valor de presin̤ (hasta 2000 Pa) y la abertura PLA 2 separa el r̀ea del tubo (0,01 Pa) [5]. El requisito para que la cm̀ara bombeada diferencialmente durante su funcionamiento - mientras interacta͠ con las molčulas de gas durante su paso por la cm̀ara - es tener el haz de electrones menos disperso, porque su dispersin̤ causa una reduccin̤ de la nitidez hasta la destruccin̤ total de la imagen resultante [6].Durante la construccin̤ de la cm̀ara de bombeo diferencial, deben cumplirse los siguientes requisitos:- asegurar la menor dispersin̤ de electrones en el eje del haz primario [7],- para asegurar el menor flujo de masa hacia el tubo a travš de la abertura PLA 2 [8].La Fig. 1 muestra el campo de densidad del gas dado a travš del Nm͠ero de Densidad Normalizada.El nm͠ero de t̀omos o molčulas (n) en una masa (m) de un material puro que tiene peso atm̤ico o molecular (M) se calcula fc̀ilmente a partir de la siguiente ecuacin̤ utilizando el nm͠ero de Avogadro (NA):Fr̤mula (1)En caso de que se indique la densidad ρ de la sustancia, la densidad del nm͠ero atm̤ico N, que es la concentracin̤ de t̀omos o molčulas por unidad de volumen V, se convierte en una cantidad ms̀ conveniente para calcular.