Analysis of Gas Flow in a Secondary Electron Scintillation Detector for ESEM with a New System of Pressure Limiting Apertures
Los microscopios electrn̤icos de barrido ambiental ofrecen amplias posibilidades para la exploracin̤ de diversos tipos de especm̕enes, especialmente especm̕enes no conductores y hm͠edos que contienen diferentes fases materiales. En este artc̕ulo se analizan los resultados de las simulaciones de bomb...
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| Format: | Book |
| Language: | English |
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| Online Access: | Analysis of Gas Flow in a Secondary Electron Scintillation Detector for ESEM with a New System of Pressure Limiting Apertures |
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| Summary: | Los microscopios electrn̤icos de barrido ambiental ofrecen amplias posibilidades para la exploracin̤ de diversos tipos de especm̕enes, especialmente especm̕enes no conductores y hm͠edos que contienen diferentes fases materiales. En este artc̕ulo se analizan los resultados de las simulaciones de bombeo de gas para el novedoso diseǫ de aperturas limitadoras de presin̤ en un detector de centelleo electrn̤ico secundario con el uso de los sistemas SolidWorks y Ansys.1. Introduccin̤El detector de centelleo de electrones secundarios (SEs) para el microscopio electrn̤ico de barrido ambiental (ESEM) est ̀diseądo para la deteccin̤ de alta eficiencia de electrones secundarios a presiones que van de 0,01 a 1000 Pa en la cm̀ara de muestras. En el detector cuya seccin̤ transversal se ve en la Fig. 1 con una distribucin̤ de presin̤ de gas estt̀ica calculada, el centelleador se coloca en una cm̀ara de bombeo individual, separada de la cm̀ara de muestras del microscopio por dos aberturas limitadoras de presin̤ A1 y A2. Las aperturas limitan el flujo de gas a travš del detector y, junto con un eficiente bombeo de vaco̕, ayudan a alcanzar una presin̤ de 5 Pa, como mx̀imo, en la cm̀ara del centelleador a una presin̤ de vapor de agua de hasta 1000 Pa en la cm̀ara de muestras del microscopio. Como el voltaje en el centelleador puede alcanzar hasta 10 kV, un valor de presin̤ de 5 Pa es el mx̀imo para prevenir descargas elčtricas en el ambiente gaseoso alrededor del centelleador [1]. Los voltajes en las aberturas (del orden de cientos de voltios) crean un campo electrostt̀ico que permite que las SEs detectadas pasen hasta el centelleador. Los voltajes en las aperturas (del orden de cientos de voltios) crean un campo electrostt̀ico que ayuda a la SE detectada a pasar hasta el centelleador. El tamaǫ de los agujeros en las aperturas, la distancia y la forma del espacio entre las aperturas, as ̕como la velocidad de bombeo de las bombas de vaco̕ usadas, afectan distintivamente al carc̀ter del flujo de gas y a la disminucin̤ de la presin̤ alcanzable en el detector [2]. El presente trabajo se ocupa del anl̀isis del flujo de gas en el detector, en el que las aberturas A1 y A2, cada una con un orificio central de 0,6 mm de dim̀etro, se sustituyen por aberturas que contienen un sistema de orificios distribuidos uniformemente de 0,1 mm de dim̀etro. La seccin̤ transversal del flujo efectivo de estas aberturas permanece aproximadamente igual. La bomba rotativa, con un flujo volumťrico de 0,001 m3/s se utiliz ̤para bombear el espacio entre las aberturas de los detectores A1 y A2, y la bomba turbomolecular con un flujo volumťrico de 0,01 m3/s se utiliz ̤para bombear la cm̀ara de centelleo [3]. |
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| ISBN: | 2533-4123 (Versin̤ electrn̤ica); 1802-2308 (Versin̤ Impresa) |