The Impact of Critical Flow on the Primary Electron Beam Passage through Differentially Pumped Chamber - Maxa J.; Neděla V.; University of Defence
El microscopio electrn̤ico de barrido ambiental crea nuevas posibilidades en el campo del examen de varios tipos de muestras y sus fases. El artc̕ulo analiza y compara los resultados de la medicin̤ de bombeo de aire para formas seleccionadas de la cm̀ara de bombeo diferencial para crear vaco̕, utilizando el sistema Cosmos FloWorks.1. Introduccin̤La alta presin̤ en los gases (hasta 3000 Pa) en la cm̀ara de muestras del microscopio electrn̤ico de barrido de presin̤ variable (VP-SEM) establece requisitos especf̕icos para la construccin̤ del microscopio y su sistema de bombeo. El diseǫ de las distintas partes de la construccin̤ del VP-SEM, principalmente las cm̀aras de bombeo diferencial, debe cumplir requisitos especf̕icos para el bombeo eficiente de su interior y la minimizacin̤ de la presin̤. Los requisitos tecnolg̤icos especf̕icos estǹ suficientemente compensados por una amplia gama de aplicaciones tanto en el modo de vaco̕ como en el de alta presin̤ [1].La diferencia bastante grande de presin̤ que se origina entre la cm̀ara de muestras (3 x 103 Pa) y alrededor de la fuente de electrones (103 ̦10-9 Pa, segn͠ el tipo de fuente) en el VP-SEM, sl̤o puede mantenerse gracias al sistema de cm̀aras de bombeo diferencial, las pantallas limitadoras de presin̤ (PLA1 y PLA2 en la Fig. 2) y un eficiente sistema de bombeo de gas. En las pantallas hay orificios del orden de decenas a cientos de micrm̤etros de dim̀etro que pueden restringir eficazmente el flujo de gas entre las partes individuales del microscopio, y al mismo tiempo permiten el paso de electrones de la fuente a la muestra [2]. El sistema de cm̀aras y pantallas suele estar integrado en la columna de EREM. Para el bombeo, normalmente se utiliza un sistema de bombas de vaco̕ rotativas, de difusin̤ o turbo-culares (el interior de la cm̀ara del espčimen y las diferentes cm̀aras adyacentes de bombeo tial), o posiblemente bombas de vaco̕ de iones (la fuente de electrones).Debido a la alta presin̤ de los gases en la cm̀ara de muestras de EREM, hay un aumento de las interacciones de los electrones con las molčulas y los t̀omos de los gases (principalmente los vapores de agua). Posteriormente, el haz de electrones primario original se difunde. La difusin̤ de los electrones primarios aumenta con el aumento de la presin̤, el nm͠ero atm̤ico medio de gas, la distancia de trabajo y la disminucin̤ del voltaje de aceleracin̤ en el haz. La difusin̤ da como resultado un aumento del dim̀etro de la trayectoria del haz de electrones primario. En consecuencia, la relacin̤ seąl/ruido en la seąl detectada es menos favorable, y el efecto final puede ser un deterior ̤la resolucin̤ del microscopio [3].