Propiedades morfolg̤icas y estructurales de recubrimientos nitruro de titanio aluminio producidos por magnetron sputtering tro̕do

Se crecieron recubrimientos de TixAl1-xN empleando la tčnica de magnetron sputtering tro̕do, variando el voltaje de polarizacin̤ entre -40 V y -150V. Por medio de espectroscopa̕ de energa̕ dispersiva, difraccin̤ de rayos x y microscopa̕ de fuerza atm̤ica, se analiz ̤la influencia del voltaje de pol...

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Bibliografske podrobnosti
Drugi avtorji: Devia D M, Restrepo Parra E, Vľez Restrepo J M, Universidad EAFIT
Format: Knjiga
Jezik:angleščina
Teme:
Online dostop:Propiedades morfolg̤icas y estructurales de recubrimientos nitruro de titanio aluminio producidos por magnetron sputtering tro̕do
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