Propiedades morfolg̤icas y estructurales de recubrimientos nitruro de titanio aluminio producidos por magnetron sputtering tro̕do
Se crecieron recubrimientos de TixAl1-xN empleando la tčnica de magnetron sputtering tro̕do, variando el voltaje de polarizacin̤ entre -40 V y -150V. Por medio de espectroscopa̕ de energa̕ dispersiva, difraccin̤ de rayos x y microscopa̕ de fuerza atm̤ica, se analiz ̤la influencia del voltaje de pol...
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|---|---|
| Formaat: | Boek |
| Taal: | Engels |
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| Online toegang: | Propiedades morfolg̤icas y estructurales de recubrimientos nitruro de titanio aluminio producidos por magnetron sputtering tro̕do |
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