Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC

Las bicapas de TiN/TiC se depositaron utilizando la tčnica de deposicin̤ en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en un rango de 100-120 ʻC, con intervalos de 5 ʻC. Los recubrimientos se analizaron por medio de XPS y XRD. A partir del tratamiento...

Descrizione completa

Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Altri autori: Arango Pedro Još, Devia D M, Mesa Fernando, Universidad EAFIT
Natura: Libro
Lingua:spagnolo
Soggetti:
Accesso online:Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!