Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC

Las bicapas de TiN/TiC se depositaron utilizando la tčnica de deposicin̤ en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en un rango de 100-120 ʻC, con intervalos de 5 ʻC. Los recubrimientos se analizaron por medio de XPS y XRD. A partir del tratamiento...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Arango Pedro Još, Devia D M, Mesa Fernando, Universidad EAFIT
Формат:
Язык:испанский
Предметы:
Online-ссылка:Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!