Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC

Las bicapas de TiN/TiC se depositaron utilizando la tčnica de deposicin̤ en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en un rango de 100-120 ʻC, con intervalos de 5 ʻC. Los recubrimientos se analizaron por medio de XPS y XRD. A partir del tratamiento...

Olles dieđut

Furkejuvvon:
Bibliográfalaš dieđut
Eará dahkkit: Arango Pedro Još, Devia D M, Mesa Fernando, Universidad EAFIT
Materiálatiipa: Girji
Giella:espánnjágiella
Fáttát:
Liŋkkat:Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC
Fáddágilkorat: Lasit fáddágilkoriid
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!