Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures

La tecnologa̕ de baja temperatura de co-coccin̤ para cerm̀icas (low temperature co-fired ceramic, LTCC) ha llamado considerablemente la atencin̤ en la l͠tima dčada para la fabricacin̤ de sensores y dispositivos para microflujo. Aunque las lm̀inas LTCC planares estructurales parecen sencillas <U+...

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Other Authors: Birol Hansu, <U+00C9>cole Polytechnique Fďřale de Lausanne (EPFL)
Format: Book
Language:English
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Online Access:Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures
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245 1 0 |a Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures 
246 |a Fabricacin̤ de sensores y estructuras microflud̕icas a baja temperatura a base de cerm̀ica cocida (LTCC) 
264 |a Bogot ̀(Colombia) :  |b Revista VirtualPRO,  |c 2011 
520 3 |a La tecnologa̕ de baja temperatura de co-coccin̤ para cerm̀icas (low temperature co-fired ceramic, LTCC) ha llamado considerablemente la atencin̤ en la l͠tima dčada para la fabricacin̤ de sensores y dispositivos para microflujo. Aunque las lm̀inas LTCC planares estructurales parecen sencillas <U+0096>las cuales son procesadas y sometidas a serigrafa̕ (screen-print) con pelc̕ulas delgadas<U+0096>, se pueden encontrar problemas importantes una vez se desea incorporar caracters̕ticas bs̀icas de sensores como cavidades y microcanales dentro del md̤ulo del sensor.Por ello, este estudio se orienta a cumplir dos objetivos principales: desarrollar una tčnica avanzada para la fabricacin̤ de cavidades integradas y bien definidas en LTCC, as ̕como la produccin̤ de sensores novedosos usando nuevos parm̀etros de diseǫ y sistemas de materiales compatibles.Con respecto al primer objetivo, se desarrollaron pastas de sacrificio de grafito que fueron sometidas a serigrafa̕ sobre LTCC, apiladas con capas adicionales y cocidas. Se formaron las cavidades por la remocin̤ de las pastas de sacrificio durante distintas etapas de la coccin̤, y el grafito se oxid ̤durante la sinterizacin̤ del md̤ulo LTCC. Para el segundo objetivo, se cubri ̤la fabricacin̤ de sensores LTCC novedosos como alternativa a aquellos fabricados en alm͠ina.Se realizaron aplicaciones de dispositivos prometedores usando propiedades distintivas de la LTCC, tales como la baja conductividad třmica (un orden de magnitud menor que la alm͠ina), flexibilidad de diseǫ, finos grosores de sustrato (40 mm), bajo md̤ulo de elasticidad, entre otros. As,̕ se demostr ̤que los tres sensores de LTCC detectaron viscosidad de gases, fuerza e inclinacin̤. Aqu ̕se explican en detalle principios fs̕icos, seleccin̤ de materiales, procedimiento de fabricacin̤ y desempeǫ. 
650 \ \ |a Metales cerm̀icos 
650 \ \ |a Industrias manufactureras 
650 \ \ |a Fabricacin̤ industrial 
650 \ \ |a Cerm̀ica 
650 \ \ |a Procesos de manufactura 
650 \ \ |a Ceramic metals 
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650 \ \ |a Manufacturing 
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650 \ \ |a Manufacturing processes 
650 \ \ |a Industria cerm̀ica 
650 \ \ |a Materiales cerm̀icos 
650 \ \ |a Sensores 
650 \ \ |a Microfluidos 
650 \ \ |a Cerm̀ica cocida a baja temperatura (LTCC) 
650 \ \ |a Capa de sacrificio 
650 \ \ |a Ceramic industry 
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650 \ \ |a Sensors 
650 \ \ |a Microfluidics 
650 \ \ |a Low temperature co-fired (LTCC) 
650 \ \ |a Slaughter layer  
700 \ \ |a Birol Hansu  
700 \ \ |a <U+00C9>cole Polytechnique Fďřale de Lausanne (EPFL) 
856 |z Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures  |u https://virtualpro.unach.elogim.com/biblioteca/fabricacion-de-sensores-y-estructuras-microfluidicas-a-baja-temperatura-a-base-de-ceramica-cocida-ltcc-