Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures
La tecnologa̕ de baja temperatura de co-coccin̤ para cerm̀icas (low temperature co-fired ceramic, LTCC) ha llamado considerablemente la atencin̤ en la l͠tima dčada para la fabricacin̤ de sensores y dispositivos para microflujo. Aunque las lm̀inas LTCC planares estructurales parecen sencillas <U+...
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| Format: | Book |
| Language: | English |
| Subjects: | |
| Online Access: | Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures |
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MARC
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| 245 | 1 | 0 | |a Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures |
| 246 | |a Fabricacin̤ de sensores y estructuras microflud̕icas a baja temperatura a base de cerm̀ica cocida (LTCC) | ||
| 264 | |a Bogot ̀(Colombia) : |b Revista VirtualPRO, |c 2011 | ||
| 520 | 3 | |a La tecnologa̕ de baja temperatura de co-coccin̤ para cerm̀icas (low temperature co-fired ceramic, LTCC) ha llamado considerablemente la atencin̤ en la l͠tima dčada para la fabricacin̤ de sensores y dispositivos para microflujo. Aunque las lm̀inas LTCC planares estructurales parecen sencillas <U+0096>las cuales son procesadas y sometidas a serigrafa̕ (screen-print) con pelc̕ulas delgadas<U+0096>, se pueden encontrar problemas importantes una vez se desea incorporar caracters̕ticas bs̀icas de sensores como cavidades y microcanales dentro del md̤ulo del sensor.Por ello, este estudio se orienta a cumplir dos objetivos principales: desarrollar una tčnica avanzada para la fabricacin̤ de cavidades integradas y bien definidas en LTCC, as ̕como la produccin̤ de sensores novedosos usando nuevos parm̀etros de diseǫ y sistemas de materiales compatibles.Con respecto al primer objetivo, se desarrollaron pastas de sacrificio de grafito que fueron sometidas a serigrafa̕ sobre LTCC, apiladas con capas adicionales y cocidas. Se formaron las cavidades por la remocin̤ de las pastas de sacrificio durante distintas etapas de la coccin̤, y el grafito se oxid ̤durante la sinterizacin̤ del md̤ulo LTCC. Para el segundo objetivo, se cubri ̤la fabricacin̤ de sensores LTCC novedosos como alternativa a aquellos fabricados en alm͠ina.Se realizaron aplicaciones de dispositivos prometedores usando propiedades distintivas de la LTCC, tales como la baja conductividad třmica (un orden de magnitud menor que la alm͠ina), flexibilidad de diseǫ, finos grosores de sustrato (40 mm), bajo md̤ulo de elasticidad, entre otros. As,̕ se demostr ̤que los tres sensores de LTCC detectaron viscosidad de gases, fuerza e inclinacin̤. Aqu ̕se explican en detalle principios fs̕icos, seleccin̤ de materiales, procedimiento de fabricacin̤ y desempeǫ. | |
| 650 | \ | \ | |a Metales cerm̀icos |
| 650 | \ | \ | |a Industrias manufactureras |
| 650 | \ | \ | |a Fabricacin̤ industrial |
| 650 | \ | \ | |a Cerm̀ica |
| 650 | \ | \ | |a Procesos de manufactura |
| 650 | \ | \ | |a Ceramic metals |
| 650 | \ | \ | |a Manufacturing industries |
| 650 | \ | \ | |a Manufacturing |
| 650 | \ | \ | |a Pottery |
| 650 | \ | \ | |a Manufacturing processes |
| 650 | \ | \ | |a Industria cerm̀ica |
| 650 | \ | \ | |a Materiales cerm̀icos |
| 650 | \ | \ | |a Sensores |
| 650 | \ | \ | |a Microfluidos |
| 650 | \ | \ | |a Cerm̀ica cocida a baja temperatura (LTCC) |
| 650 | \ | \ | |a Capa de sacrificio |
| 650 | \ | \ | |a Ceramic industry |
| 650 | \ | \ | |a Ceramic materials |
| 650 | \ | \ | |a Sensors |
| 650 | \ | \ | |a Microfluidics |
| 650 | \ | \ | |a Low temperature co-fired (LTCC) |
| 650 | \ | \ | |a Slaughter layer |
| 700 | \ | \ | |a Birol Hansu |
| 700 | \ | \ | |a <U+00C9>cole Polytechnique Fďřale de Lausanne (EPFL) |
| 856 | |z Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures |u https://virtualpro.unach.elogim.com/biblioteca/fabricacion-de-sensores-y-estructuras-microfluidicas-a-baja-temperatura-a-base-de-ceramica-cocida-ltcc- | ||