Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC) based sensor and micro-fluidic structures

La tecnologa̕ de baja temperatura de co-coccin̤ para cerm̀icas (low temperature co-fired ceramic, LTCC) ha llamado considerablemente la atencin̤ en la l͠tima dčada para la fabricacin̤ de sensores y dispositivos para microflujo. Aunque las lm̀inas LTCC planares estructurales parecen sencillas <U+...

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其他作者: Birol Hansu, <U+00C9>cole Polytechnique Fďřale de Lausanne (EPFL)
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语言:英语
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