Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology

En esta investigacin̤ se ofrece una solucin̤ confiable para resolver el problema de no linealidad de un resonador CMOS-MEMS (semiconductor complementario de x̤ido metl̀ico-sistema microelectromecǹico) y, adems̀, se demuestra un potencial notable para construir un sensor de temperatura CMOS-MEMS par...

Cijeli opis

Spremljeno u:
Bibliografski detalji
Daljnji autori: Gk̲ta&#351; Hasan, MDPI
Format: Knjiga
Jezik:engleski
Teme:
Online pristup:Towards an Ultra-Sensitive Temperature Sensor for Uncooled Infrared Sensing in CMOS<U+0096>MEMS Technology
Oznake: Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!