Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions

Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio...

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Bibliographic Details

Other Authors:	Yu Huiyang, Huang Jianqiu, MDPI
Format:	Book
Language:	English
Subjects:	Tecnologa̕ de la instrumentacin̤ Instrumentos de medicin̤ Instrumentation technology Measuring instruments Instrumentacin̤ industrial Sensores Sensores de presin̤ Piezorresistivo Concentracin̤ de tensiones Bajas presiones Industrial instrumentation Sensors Pressure sensors Piezoresistive Stress concentration Low pressures
Online Access:	Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions
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