Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions

Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions

Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio...

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Бібліографічні деталі
Інші автори: Yu Huiyang, Huang Jianqiu, MDPI
Формат: Книга
Мова:Англійська
Предмети:
Tecnologa̕ de la instrumentacin̤
Instrumentos de medicin̤
Instrumentation technology
Measuring instruments
Instrumentacin̤ industrial
Sensores
Sensores de presin̤
Piezorresistivo
Concentracin̤ de tensiones
Bajas presiones
Industrial instrumentation
Sensors
Pressure sensors
Piezoresistive
Stress concentration
Low pressures
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Резюме:Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio como parte del haz. Se fabricaron cuatro piezorresistores. Dos de ellos estǹ localizados en los extremos del haz, y los otros dos en la periferia de la membrana.
ISSN:1424-8220

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