Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions
Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio...
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|---|---|
| Format: | Książka |
| Język: | angielski |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions |
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MARC
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| 245 | 1 | 0 | |a Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions |
| 246 | |a Diseǫ y aplicacin̤ de un sensor de presin̤ piezorresistivo de alta sensibilidad para condiciones de baja presin̤ | ||
| 264 | |a Bogot ̀(Colombia) : |b Revista VirtualPRO, |c 2019 | ||
| 520 | 3 | |a Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio como parte del haz. Se fabricaron cuatro piezorresistores. Dos de ellos estǹ localizados en los extremos del haz, y los otros dos en la periferia de la membrana. | |
| 650 | \ | \ | |a Tecnologa̕ de la instrumentacin̤ |
| 650 | \ | \ | |a Instrumentos de medicin̤ |
| 650 | \ | \ | |a Instrumentation technology |
| 650 | \ | \ | |a Measuring instruments |
| 650 | \ | \ | |a Instrumentacin̤ industrial |
| 650 | \ | \ | |a Sensores |
| 650 | \ | \ | |a Sensores de presin̤ |
| 650 | \ | \ | |a Piezorresistivo |
| 650 | \ | \ | |a Concentracin̤ de tensiones |
| 650 | \ | \ | |a Bajas presiones |
| 650 | \ | \ | |a Industrial instrumentation |
| 650 | \ | \ | |a Sensors |
| 650 | \ | \ | |a Pressure sensors |
| 650 | \ | \ | |a Piezoresistive |
| 650 | \ | \ | |a Stress concentration |
| 650 | \ | \ | |a Low pressures |
| 700 | \ | \ | |a Yu Huiyang |
| 700 | \ | \ | |a Huang Jianqiu |
| 700 | \ | \ | |a MDPI |
| 856 | |z Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions |u https://virtualpro.unach.elogim.com/biblioteca/diseno-y-aplicacion-de-un-sensor-de-presion-piezorresistivo-de-alta-sensibilidad-para-condiciones-de-baja-presion | ||