Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions
Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio...
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|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | inglés |
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| Acceso en liña: | Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions |
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