Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Los sensores de presin̤ piezorresistivos microelectronicomecǹicos de silicio son los primeros y ms̀ exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sl̤ido y dimensiones pequeąs a bajo costo cuando se producen en masa. En este artc̕ulo se brinda una caracteriza...
Збережено в:
| Інші автори: | , , , , , , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Англійська |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|