Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions

Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions

Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Other Authors: Yu Huiyang, Huang Jianqiu, MDPI
Format: Book
Language:English
Subjects:
Tecnologa̕ de la instrumentacin̤
Instrumentos de medicin̤
Instrumentation technology
Measuring instruments
Instrumentacin̤ industrial
Sensores
Sensores de presin̤
Piezorresistivo
Concentracin̤ de tensiones
Bajas presiones
Industrial instrumentation
Sensors
Pressure sensors
Piezoresistive
Stress concentration
Low pressures
Online Access:Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio como parte del haz. Se fabricaron cuatro piezorresistores. Dos de ellos estǹ localizados en los extremos del haz, y los otros dos en la periferia de la membrana.
ISSN:1424-8220

Similar Items