Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions
Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio...
-д хадгалсан:
| Бусад зохиолчид: | , , |
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| Формат: | Ном |
| Хэл сонгох: | англи |
| Нөхцлүүд: | |
| Онлайн хандалт: | Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions |
| Шошгууд: |
Шошго нэмэх
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| Тойм: | Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio como parte del haz. Se fabricaron cuatro piezorresistores. Dos de ellos estǹ localizados en los extremos del haz, y los otros dos en la periferia de la membrana. |
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| ISSN: | 1424-8220 |