Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions

Es este investigacin̤ se propone un sensor de presin̤ para deteccin̤ de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grab ̤parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentracin̤ de tensiones. Tambiň se deposit ̤una capa de aluminio...

Olles dieđut

Furkejuvvon:
Bibliográfalaš dieđut
Eará dahkkit: Yu Huiyang, Huang Jianqiu, MDPI
Materiálatiipa: Girji
Giella:eaŋgalasgiella
Fáttát:
Liŋkkat:Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions
Fáddágilkorat: Lasit fáddágilkoriid
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!

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